摘要

为了改善RBSiC陶瓷反射率较低的情况,利用RF磁控溅射法在RBSiC基底表面涂覆一层结构致密的PVDSiC涂层。采用XRD表征了PVDSiC涂层的晶化程度。利用AFM和表面轮廓仪观察了RBSiC基底和PVDSiC涂层抛光后的表面形貌和表面粗糙度,并在可见光和红外波段测量了反射率。结果表明,当采用PVDSiC涂层对RBSiC基底表面改性后,抛光后其表面缺陷明显减少,表面粗糙度Ra为0.809nm,反射率提高约为2%,最高可达99.2%,改性效果明显。PVDSiC涂层有望在可见光和红外波段获得实际应用。

关键词