摘要

以制备可用电火花加工的氮化硅基陶瓷材料为目的,用Zr N-Ti N作为导电相,以Y2O3、La2O3、Al N作为烧结助剂,在1750℃无压烧结Si3N4-Ti Zr N2-Ti N复合导电陶瓷。测试了试样的烧结特性、机械性能及导电性能,用XRD和SEM分析表征了试样的物相和显微结构。其结果为:相对密度接近98%;试样的机械性能良好,抗弯强度可达到960 MPa,显微硬度为14.7 GPa,断裂韧性为7.6 MPa·m1/2;试样的电阻率由单相氮化硅陶瓷的1013?·cm降低到复合导电陶瓷的10-2?·cm数量级,可用电火花进行加工。物相分析表明,试样中生成了Ti Zr N2新物相,形成了Si3N4-Ti Zr N2-Ti N复合导电陶瓷。显微分析表明,试样中的三种晶粒均在2μm以下,具有相互结合紧密且分布较均匀的显微结构。

关键词