摘要

介绍了多晶硅的性质以及多晶硅介质管路的工况特点，分析多晶硅管路对选用球阀的性能要求。分别对多晶硅管路球阀的主体材料及阀座密封面材料的选择、球体表面处理工艺进行阐述。对多晶硅管路固定球阀的结构进行分析，分别对阀杆轴套、阀杆与球体连接、阀座、球体等结构进行设计优化。最后对球阀进行性能试验，验证产品性能和使用寿命等满足工况需求。

关键词