深紫外LED的外延技术进展
杨
杨浩[1]
杨
杨鸿志[2]
高
高涛[3]
郭
郭伟杰[1]
覃
覃国恒[2]
[1] 厦门大学国家集成电路产教融合创新平台厦门大学电子科学与技术学院
[2] 开发晶照明(厦门)有限公司
[3] 厦门通士达照明有限公司
0次浏览
1次引用
2024-05-10 10:04:23
07期 / 页码: 1-5
摘要
深紫外LED (UVC LED)是新型紫外线光源，可应用于病毒消杀、工业、通信等领域。近年来，AlGaN基UVC LED的外延技术取得了显著的发展，器件性能不断提升，展现出了良好的应用前景。本文综述了UVC LED外延技术的研究进展，主要介绍衬底、外延工艺与外延结构对UVC LED光电性能的影响。
关键词
深紫外LEDAlGaN外延量子阱
参考文献
共0条正在加载参考文献...