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陶瓷

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Ceramics

Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜微观结构与电学性质的影响研究

娄本浊

[1] 陕西理工学院物理与电信工程学院

陶瓷 2012年 / 08期23-25
DOI：10.19397/j.cnki.ceramics.2012.08.006
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摘要

笔者利用射频磁控溅镀法在Pt/SiO2/Si(100)基板上制备出Fe掺杂量分别为0、0.5%、1.0%、2.0%、3.0%及5.0%的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜,并讨论了Fe掺杂含量对其微观结构结与电学性质的影响。由XRD分析可知,Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的晶体结构并无较大的影响;从SEM结果则可得出,微量Fe掺杂时薄膜较为致密,且晶粒大小较一致。电性结果表明,掺Fe薄膜的相对介电常数和电容均呈现下降趋势,且Fe掺杂含量分别为0.5%、1.0%及2.0%时薄膜具有较小的漏电流密度。

关键词

Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜Fe掺杂效应射频磁控溅镀法微观结构电学性质

参考文献

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