摘要

采用 CYD 和 PYD 法制备 TiN,TiC,TiCN,TiAlN 等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用,但仍然不能满足许多难加工材料,如高硅铝合金,各种有色金属及其合金,工程塑料,非金属材料,陶瓷,复合材料（特别是金属基和陶瓷基复合材料）等加工的要求。正是这种客观需求导致了诸如金刚石膜、立方氮化硼（C-BN）和碳氮膜（CNx）以及纳米复合膜等新型超硬薄膜材料的研究进展。笔者对这些超硬材料薄膜的研究现状及工业化应用前景进行了简要的介绍和评述。

关键词