摘要

本文对自结合碳化硅及重结晶碳化硅进行了较详细的分析,澄清了人们的一些模糊认识。叙述了β—SiC结合碳化硅及重结晶碳化硅的生产工艺及基本性能。初步推测了提高重结晶碳化硅材料性能的途径。