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陶瓷

陶瓷

Ceramics

溅射SiOx薄膜氧含量与红外特性关系研究

王慧
刘静

[1] 中国建筑材料科学研究总院石英重点实验室

陶瓷 2007年 / 09期27-29
DOI：10.19397/j.cnki.ceramics.2007.09.006
3 次引用

摘要

用反应溅射法制成了SiO2薄膜,研究其傅立叶变换红外吸收光谱图特性。Si—O—Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1 100 f-1和600 f-1附近。结合XPS定量测试结果讨论了吸收峰与薄膜中氧含量的关系,目的用FTIR非破坏性快速方便预测SiOx薄膜的化学配比。

关键词

反应溅射法SiO2薄膜XPSFTIR

参考文献

共0条
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