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陶瓷

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Ceramics

V500型CO_2激光机及其Al_2O_3电子陶瓷基板加工技术

白军信
李宏杰

[1] 西京电气总公司

陶瓷 2014年 / 11期31-33

摘要

主要介绍了V500型CO2激光机的结构、原理以及加工电子陶瓷基片的相关技术,利用激光加工α-96%Al2O3陶瓷基板,是满足厚膜混合集成电路等产品生产和科研需要的主要方法之一。

关键词

CO2激光机陶瓷基片加工技术

参考文献

共0条
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