摘要

本文对氮化"流硅"给氮化硅系材料带来的危害及研究"流硅"的重要性作了论述。给出了氮化"流硅"的简要定义,并阐述了"流硅"现象的表现形式和影响因素。明确指出了造成"流硅"的根本原因在于Si与N2的化合反应会释放大量的热,而反应速率又未得到控制所致。通过传热计算,给出了反应速率定量控制参考数据,并指出氮化"流硅"最危险阶段是起始反应温度区。论述了氮化温度制度必然是阶梯式升、保温制度。本文最后提出了控制"流硅"的几条措施。