摘要

碳化硅晶须的制备已有众多研究。目前,国内制备SiC晶须的方法主要可分为两大类:气相反应法和固体材料法,每种制备方法都有其各自的特点。本文重点介绍了这两种制备方法的合成机理,以及相关制备方法取得的一些实验研究成果。

关键词