摘要

采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD),以WCl6+C2H2+H2的反应体系来制备纳米碳化钨微晶,实验制得了粒径小于100nm,平均粒径为50nm的纳米碳化钨微晶样品。理论分析和实验结果都表明:RF-PCVD法制备的碳化钨样品比较复杂,含有WC,W2C,WC1-x等三种碳化钨。其中WC的硬度较高,而W2C,WC1-x的催化活性较好。

关键词