摘要

为了实现高效的精密磨削,探究了磨削力对氮化硅陶瓷表面质量的影响和亚表面损伤。通过理论分析,在高效磨削的基础上进行单一因素实验,利用粗糙度仪测量表面粗糙度并利用扫描电镜观察表面形貌。结果表明:磨削力与单颗磨粒去除材料的体积相关;比磨削能在60-70 J/mm3且切向磨削力在10-60 N之间,容易获得较好的表面质量;增大磨削深度比、增大砂轮线速度和工件进给速度更容易产生裂纹,磨削深度在5-15μm之间适用于氮化硅陶瓷精密磨削。

关键词