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景德镇陶瓷大学主办
[1] 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷制备先进技术工程实验室
[2] 株洲硬质合金集团有限公司硬质合金国家重点实验室
采用传统的常压固相烧结方法制备了Li3PO4陶瓷靶材,研究了烧结温度对Li3PO4陶瓷靶材的微观结构力学性能、致密度的影响。通过XRD测定靶材相的结构,SEM观察靶材的断面形貌,万能实验机测量靶材的抗弯强度,维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度,阿基米德排水法测量靶材密度等对Li3PO4靶材的性能进行了分析表征。结果表明:其各项力学性能均达到了一个很高的水平,靶材的最佳烧结温度为800℃,抗弯强度为76.16 Mpa,维氏硬度为475.87HV0.3,相对密度为98.89%;而XRD数据则表明靶材物相单一且结晶性良好。
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