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ISSN 2095-784XCN 36-1205/TS
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景德镇陶瓷大学主办

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喷雾裂解法制备掺氟氧化锡导电薄膜

曾涛[1]
王硕[1]
冯诗乐[1]
施玮[1,2]
陈云霞[1,2]
苏小丽[1]

[1] 景德镇陶瓷大学

[2] 国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心

陶瓷学报 2016年 / 37卷 / 05期489-492
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摘要

以单丁基三氯化锡、氟化铵、无水甲醇、超纯水为原料制备反应热喷涂液,采用高温喷雾裂解工艺在玻璃基底上制备氟掺杂氧化锡（FTO）透明导电薄膜,研究了氟掺杂浓度对所制备FTO透明导电薄膜光、电性能的影响。研究结果表明,制备透明导电薄膜的最佳工艺参数为:基底温度500℃、掺杂浓度24 atom%、锡前体浓度0.5 M、喷涂次数60次及醇水比2:1,对应的透明导电玻璃方块电阻Rsh=11.3Ω/sqr,可见光区平均透光率Tave=77.80%,品质因数ФTC=7.2×10-3/Ω,评估指标均接近商品级别。

关键词

喷雾裂解FTO方块电阻透光率品质因数

参考文献

共0条
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