摘要

本文采用HPAgilent4294A阻抗分析仪、SEM、XRD、TEM等测试方法研究了不同Sr/Ba比对Sr(1-x)BaxTiO3(SBT)薄膜结构与性能的影响。在同一测试频率下,当Sr/Ba比为0.5时,薄膜的相对介电常数εr最大,介质损耗tanδ相对较小,最大εr温度点Tm为305K;在所测试的频率范围内,εr随频率的升高而降低,tanδ则相反,表现出较好的频散特性。薄膜的矿物相为四方钙钛矿结构。Sr/Ba比为0.5时,薄膜表面无裂纹,孔洞少,颗粒集聚较少,其平均粒径均为80nm,分布均匀;晶格条纹间距约为2.96A,晶界两侧的晶粒取向是随机的。

关键词