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ISSN 2095-784XCN 36-1205/TS
陶瓷学报
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景德镇陶瓷大学主办
人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si3N4薄膜制备工艺
张勤俭
吴春丽
李敏
张勤河
秦勇
毕进子
张建华
[1] 山东大学,山东大学,同济大学,山东大学,山东大学,山东大学,山东大学
陶瓷学报 2002年 / 02期116-118
5 次引用
摘要
应用人工神经网络建立了激光—等离子体辅助化学气相沉积 (LPCVD)工艺参数与Si3 N4薄膜显微硬度的关系。并运用遗传算法优化出了最佳工艺。
关键词
激光—等离子体辅助化学气相沉积Si3N4薄膜人工神经网络遗传算法
参考文献
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