摘要

伴随电子信息技术的爆炸性发展,微电子与固体电子技术发展也日新月异,从而促进了薄膜材料在不同领域的广泛应用。反之,高性能薄膜材料的出现也直接促进信息技术的飞跃。电子元器件的发展趋势呈现高速运行,微型与轻薄化,可靠性高,高度集成等趋势,同时与微电子工艺兼容。薄膜材料正好满足多层布线与高度集成等工艺要求。本文综合介绍功能薄膜的制备方法以及优缺点对比。同时也简要介绍了薄膜材料的种类,研究进展以及可能的用途。

关键词