摘要

TaC具有高的抗氧化、高硬度、高熔点、良好的耐化学腐蚀和热冲击性能等优异的物理和化学性能,在刀具、磨具、轴承等工件上应用十分广泛。由于受基体的表面状况、材料以及沉积工艺条件的影响,TaC涂层具有不同的表面形貌和择优取向。不同的基体表面状况采用不同的沉积温度是制备结合良好的TaC薄膜的关键。文章综述了TaC涂层制备工艺、TaC薄膜的性能、以及在汽车零部件、金属加工、航空航天等领域的应用,展望了TaC涂层的应用前景与发展趋势。

关键词