摘要

在半导体行业中，对于超高纯气体的使用至关重要。在超高纯气体输送和控制过程中，如何保证其纯度是一个至关重要的因素。而要想保证纯度，对于阀门和管道的内壁粗糙度、材料的机械性能、材料表面的抛光效果、弯曲管道的内壁折弯情况、表面钝化程度、焊接工艺的质量等都有极其高的要求。很多厂家都在想办法通过提高工艺的技术要求，或通过改善工艺方法等来优化最终的完工效果，多数采用在原材料上的控制，但关注更多的是原材料的机械性能、化学成分、热处理效果等方面，经研究发现，原材料的晶粒度是影响这些工艺的一个非常重要因素。

关键词