摘要

随着多晶硅生产工艺改进实现提纯度高的分析与管线使用验证，总结多晶硅硬密封球阀的性能特点。与常规硬密封球阀相比，多晶硅硬密封球阀应具有防尘、高硬度、防腐的特点。密封面应采用结合强度高、敷熔后密封层硬度高且耐磨的材料。密封面应具有自清洁与自研磨性能，球体需有引流性能，可减轻阀门启闭力扭矩，并且可以预防阀腔硅粉堆积导致阀门卡死，阀体与阀座都需要设计有效的防尘功能来确保阀座运动有效性等。

关键词