摘要

多晶硅专用球阀是多晶硅生产系统中的核心装备，具有截断到导通作用。由于其所处工况极其恶劣，使用寿命一般在三个月到半年，阀门密封失效极快。收集大量素材和用户反馈，通过不断优化密封面成型工艺、开发气固相分离技术、改善垫片密封形式、简化阀杆受力结构、转移漏点等五大措施，系统性地解决了阀门内漏和外漏的问题。开发的多晶硅硬密封球阀完全实现了国产化，产品价格约为进口产品的76%,供货周期从进口的半年下降至2～3个月，产品使用寿命从6个月提高到两年以上，实现了以国代进，性能领先进口同类产品。

关键词