摘要

￥光明化工研究设计院＠蒋仲先１问题提出具有各种特殊性能要求的气体，如电子气、石油化工气和标准气等在国民经济各个行业有着广泛的用途，这些气体的开发研制是确保和推进高科技发展的重要组成部分。以集成电路用气（电子气）为例，目前国际上集成度已达２５６Ｋ（１Ｋ表示１...

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